Heat Exchanger & Chemical Circulator

Heat Exchanger & Chemical Circulator

반도체 공정에서 사용하는 약액 온도제어용 히터 및 냉각기입니다. 외산 장비를 대체할 수 있는 고성능 제품으로, 해수구성에 따라 유연하게 커스터마이징할 수 있습니다.

  • 높은 온도 안정성과 반응 속도
  • 장비 통신 인터페이스 지원
  • 클린룸 환경에 적합한 구조
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기술 적용 구성

A. Peltier Module (열전소자 - 가열 & 냉각)

제품분석을 근거로 중 전압, 중 전류 사양의 열전소자 설계, 개발 적용.

B. SMPS (Switched Mode Power Supply system – 전류제어 및 극성전환 가능한 전원공급장치)

열전소자의 특성에 맞춰서 전류제어 및 극성전환이 가능한 전원공급장치 개발 적용

C. Heat Exchanger with PFA Tube

  • 우수한 내약품성, 불연성에 의한 우수한 내후성 보유 및 비점착성에 의한 낮은 마모 계수성과 무독성의 특징
  • 약액 접액부를 안정적인 PFA Tube로 구성하여, 오염·부식·이상반응 없이 온도 제어 가능

D. Remote Control Program & System

범용성을 Base로 고급제어 대응이 가능한 온도제어 시스템을 적용

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